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纳米位移台柔性铰链结构存在固有谐振频率，在高速扫描工况下，激励频率接近固有频率时会引发谐振，造成运动轨迹畸变，限制纳米位移台高速扫描能力。
现象：纳米位移台执行快速阶跃运动或者高频连续扫描时，位移曲线出现明显振荡、超调；扫描成像的线条边缘出现周期性波纹；降低扫描速度之后振荡现象明显减弱，低速定位时位置读数稳定。
成因：纳米位移台柔性机械结构存在固有谐振峰，扫描驱动信号的频率靠近结构固有频率，激发机械共振。不同品牌型号纳米位移台的谐振频率、阻尼系数参数各不相同，大行程纳米位移台通常固有谐振频率更低，更容易在高速扫描时触发振荡。闭环控制器 PID 参数匹配不佳，也会放大谐振带来的抖动。
改善方案：操作纳米位移台时，将扫描工作频率控制在固有谐振频率的 1/3 以内，避开共振区间；优化纳米位移台闭环 PID 控制参数，增加系统阻尼抑制振荡；启用控制器内置的陷波滤波器，针对性抑制对应谐振峰；降低阶跃位移的步长，采用平滑的 S 型驱动曲线，减少运动冲击；必要时选用更高固有频率的小行程纳米位移台适配高速扫描需求。